測量元件是一個熱陰極電離真空計。電子從熱絲中發射出來，并通過電偏壓裝置加速射向源位置。快速移動的電子與氣體分子發生碰撞，撞出電子，從而對氣體進行電離。正氣體離子向帶負電的離子收集器提供電流。離子電流與壓力成比例。離子越多，離子電流越高。四極陣列由四個不銹鋼電極組成。直流和高頻電壓施加到所有電極后，會形成一個復雜的磁場。通過改變電壓，可以控制該磁場。

產生的振動只允許特定質量的離子“飛過”并到達檢測部分：

• 具有適當質荷比 (m/e) 的離子將以穩定的三維軌跡振蕩通過電極。
• 質荷比不正確的離子將不受控制地發生振蕩，并與電極發生碰撞

離子到達離子收集器并產生輸出電流，該電流用于度量通過濾波器的離子相對豐度。離子電流或分壓與質荷比的關系隨后顯示在裝置上或軟件中。

根據所述工作原理，LEYSPEC RGA 通過查找和顯示氣體成分來驗證氣體純度。這使 LEYSPEC 能夠識別氣體污染物，并執行進一步的工藝和設備控制，從而優化工藝性能和產量。